① 薄膜樣品的制備：我們一般采用薄硅片，薄銅片等作為載體。先把載物臺(tái)上粘上導(dǎo)電膠，然后貼上薄銅片或者硅片，再把溶液滴在上邊，等溶劑干了(此過(guò)程可以在臺(tái)燈下近距離照射)可以肉眼觀察樣品量是否足夠。
② 粉末樣品制備：在載物臺(tái)上粘上導(dǎo)電膠，然后取少量粉末樣品在導(dǎo)電膠上，然后用洗耳球朝載物臺(tái)外側(cè)輕吹(不可用嘴吹，也不可用其他工具碰粉末樣品，以免破壞樣品表面形貌)，使粉末樣品均勻的鋪在導(dǎo)電膠上，也使樣品粘牢。如果樣品不導(dǎo)電可以最后進(jìn)行蒸金處理。
③ 塊狀樣品的制備：在載物臺(tái)上粘上導(dǎo)電膠，然后將不超過(guò)儀器規(guī)定尺寸要求的塊狀樣品粘在導(dǎo)電膠上，之后就可以在掃描電鏡中直接觀察。